В ряде случаев рентгеновские спектрометры и дифрактометры являются инструментами для эффективного и экспрессного исследования текстур и покрытий.
Покрытия должны быть тонкими, толщина, доступная для использования этих методов, зависит от проницаемости покрытия в рентгеновском диапазоне. При этом плёнки могут быть многослойными.
В случаях, когда необходимая локальность исследований составляет десятки микрон, незаменимы рентгеновские микроанализаторы.
